[SescGem] 반도체 통신 프로토콜 SEMI E5 (SECS-I, SECS-II, HSMS)

"SEMI"는 반도체 산업에 관련된 표준, 지침, 시장 조사, 산업 뉴스 등을 제공하는 국제 반도체 장비 및 재료 협회(Semiconductor Equipment and Materials International)의 약자임

SEMI에서 제정한 여러 가지 표준과 가이드라인이 있으며, 이들은 반도체 제조 공정에서 중요한 역할을 함.

SEMI 표준은 중 대표적인 것들로는 다음과 같은 표준들이 있다

SEMI S2: 반도체 제조 장비의 환경, 건강, 안전성에 대한 가이드라인을 제공

SEMI F47: 반도체 공장에서 사용하는 전력의 품질 기준에 대한 규정이고 특히 전압 강하에 대한 장비의 내성 기준을 설정

SEMI E10: 반도체 장비의 가동 효율성을 평가하는 지침

SEMI E5: 장비 간 통신 프로토콜인 SECS-I (SEMI Equipment Communications Standard I)에 대한 표준

SEMI E37: 장비 제어와 모니터링에 사용되는 HSMS (High-Speed SECS Message Services)에 대한 표준

SEMI E84: 반도체 제조 공장에서 FOUP(Front Opening Unified Pod) 등 운송 장비 간의 자동화 인터페이스에 관한 표준

---

이 중 통신과 관련된 SEMI E5를 살펴볼 거임.

 

SEMI E5 표준의 하위 개념으로 SECS-I, SECS-II, HSMS가 있음.

 

 

 

 

SECS-I: 초기의 반도체 장비 간 통신
SECS-II: 복잡한 데이터 전송 및 공정 제어 (SECS-I 또는 HSMS를 통해 전송)
HSMS: 최신 환경에서 고속 네트워크 통신 요구를 충족

 

SECS-I는 직렬 통신 기반의 초기 표준, SECS-II는 고층 데이터 형식 및 메시지 구조를 제공하는 표준, HSMS는 SECS-II 메시지를 TCP/IP 네트워크를 통해 고속으로 전송할 수 있도록 만든 표준입니다. SECS-II는 SECS-I과 HSMS의 상위 계층으로 기능하며, HSMS는 현대적인 고속 네트워크 환경에서 주로 사용

---

*주요 차이점 요약
 -통신 방식
   SECS-I: 직렬 통신 (점대점)
   SECS-II: SECS-I 또는 HSMS를 통해 구현
   HSMS: TCP/IP 네트워크 기반
 -속도
   SECS-I: 저속 (직렬 통신의 한계)
   SECS-II: SECS-I 기반일 때는 저속, HSMS 기반일 때는 고속
   HSMS: 고속 (네트워크 속도에 따라)

---

1. SECS-I (SEMI Equipment Communications Standard Part 1)
SECS-I는 반도체 제조 장비와 호스트 간의 직렬 통신(RS-232C 또는 RS-485)을 위한 표준

통신 방식: 직렬 통신(점대점 연결)
데이터 전송 속도: 낮은 전송 속도 (최대 9600 baud)
물리적 연결: RS-232C 또는 RS-485 직렬 포트 사용
프로토콜 구조: SECS-I는 물리적 레이어와 데이터 링크 레이어에 중점을 두며, 메시지를 전송할 수 있는 기본적인 통신 방식을 제공
초기의 반도체 장비에서 장비와 호스트 간에 간단한 데이터 전송 및 제어를 위해 사용됨.
2. SECS-II (SEMI Equipment Communications Standard Part 2)
SECS-II는 SECS-I 또는 HSMS의 상위 계층으로, 반도체 제조 장비와 호스트 간의 데이터 형식과 메시지 구조를 정의합니다.

통신 방식: SECS-I 또는 HSMS를 통한 통신 (SECS-I는 직렬 통신, HSMS는 TCP/IP 기반)
데이터 전송 속도: SECS-I의 속도에 의존하거나, HSMS를 통해 고속으로 전송 가능
프로토콜 구조: SECS-II는 고층 데이터 형식 및 메시지 구조를 정의하며, Stream과 Function 조합으로 복잡한 데이터 전송 및 제어를 처리.
주요 기능: 데이터 수집, 상태 보고, 이벤트 보고, 원격 명령 실행 등 다양한 기능 제공.
반도체 제조 공정에서 장비와 호스트 간에 복잡한 데이터를 교환하거나, 공정 제어 및 모니터링에 사용됨.
3. HSMS (High-Speed SECS Message Services)
HSMS는 SECS-II 메시지를 TCP/IP 기반 네트워크에서 고속으로 전송하기 위한 표준입니다.

통신 방식: TCP/IP 네트워크를 통한 통신
데이터 전송 속도: 네트워크 속도에 따라 매우 빠름 (LAN 속도)
물리적 연결: 이더넷 연결 사용 (네트워크를 통한 연결)
프로토콜 구조: HSMS는 네트워크 레이어와 트랜스포트 레이어에서 작동하며, SECS-II 메시지를 캡슐화하여 TCP/IP로 전송
주요 기능: 빠른 데이터 전송, 안정적인 연결 관리 (예: 연결 설정, 해제, 링크 테스트 등).
최신 반도체 제조 환경에서 고속 데이터 전송이 필요한 경우 사용, 특히 여러 장비와 호스트 간의 복잡한 네트워크 통신이 필요한 상황에서 적합.

 

 

 

 

 

각각에 대한 설명은 아래 링크를 따라가면 있음.

 

1. SECS-I (SEMI Equipment Communications Standard Part 1)

[SescGem] 반도체 통신 프로토콜 SEMI E5 (SECS-I)

 

2. SECS-II (SEMI Equipment Communications Standard Part 2)

[SescGem] 반도체 통신 프로토콜 SEMI E5 (SECS-II)

 

3. HSMS (High-Speed SECS Message Services)

[SescGem] 반도체 통신 프로토콜 SEMI E5 (HSMS)