[SescGem] 반도체 통신 프로토콜 SEMI E5 (SECS-I)

SECS-I (Semiconductor Equipment Communication Standard Part 1)

반도체 제조 장비와 공장 호스트 시스템 간의 통신을 규정하며, 주로 저속 시리얼 통신을 통해 장비와 호스트 간의 데이터 교환을 지원함

Stream Function은 SEMI E5(SECS-I)에서 중요한 개념인데, SECS-I 프로토콜은 데이터를 Stream과 Function으로 구성된 메시지로 전송함.

 

이때, "Stream"은 데이터 메시지의 대분류를, "Function"은 그 대분류 내에서의 특정 작업을 가리키고

 

이 Stream Function를 통해 각 메시지가 수행할 작업을 식별함.

*Stream과 Function의 개념
 -Stream: 메시지를 대분류하는 단위입니다.
   숫자로 식별되며, 특정 통신 목적에 따라 그룹화됩니다.
   예를 들어, 장비 상태 보고, 데이터 요청, 명령 전송 등의 기능이 각각 다른 Stream 번호로 구분됩니다.
 -Function: Stream 내에서 특정한 작업이나 명령을 지정합니다.
   Stream 번호와 결합되어 하나의 메시지 타입을 정의합니다.

 

"Stream 1, Function 13" -> 실제로는 S1F13이라고 줄여서 부르고, 이렇게만 부르면 장비 상태를 보고하는 메시지란 것을 모두가 알아들음.

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주요 SECS-I Stream과 Function 조합

 

*Stream 1 (S1): Host Control (호스트 제어)S1, F1: Are You There (호스트가 장비에 연결 요청)
S1, F2: On Line (장비의 온라인 상태 확인)
S1, F3: Off Line (장비를 오프라인 상태로 전환)
S1, F13: Establish Communication Request (통신 시작 요청)
S1, F14: Establish Communication Grant (통신 시작 승인)

 

 

*Stream 2 (S2): Equipment Status Reporting (장비 상태 보고)
S2, F13: Equipment Status Request (장비 상태 요청)
S2, F14: Equipment Status Data (장비 상태 데이터 전달)

 

 

*Stream 3 (S3): Alarm Reporting (알람 보고)
S3, F17: Enable Alarm Request (알람 활성화 요청)
S3, F18: Disable Alarm Request (알람 비활성화 요청)
S3, F19: Alarm Report (알람 보고)

 

 

*Stream 4 (S4): Data Transfer (데이터 전송)
S4, F1: Process Program Send Request (프로세스 프로그램 전송 요청)
S4, F2: Process Program Send Data (프로세스 프로그램 데이터 전송)
S4, F3: Data Collection Request (데이터 수집 요청)
S4, F6: Data Collection Event Report (데이터 수집 이벤트 보고)

 

 

 

*Stream 5 (S5): Event Report (이벤트 보고)
S5, F1: Enable Event Reporting (이벤트 보고 활성화)
S5, F2: Disable Event Reporting (이벤트 보고 비활성화)
S5, F3: Report Event (이벤트 보고)

 

 

*Stream 6 (S6): Data Collection (데이터 수집)
S6, F3: Enable Collection Event (수집 이벤트 활성화)
S6, F4: Disable Collection Event (수집 이벤트 비활성화)
S6, F11: Data Value Request (데이터 값 요청)
S6, F12: Data Value Transfer (데이터 값 전송)

 

*Stream 7 (S7): Remote Command Execution (원격 명령 실행)
S7, F1: Define Remote Command (원격 명령 정의)
S7, F3: Delete Remote Command (원격 명령 삭제)
S7, F5: Invoke Remote Command (원격 명령 실행)

 

*Stream 9 (S9): Material Movement (물질 이동)
S9, F1: Carrier Start Request (캐리어 시작 요청)
S9, F3: Carrier Complete (캐리어 완료)

 

*Stream 10 (S10): Diagnostic Data Reporting (진단 데이터 보고)
S10, F1: Diagnostic Data Request (진단 데이터 요청)
S10, F2: Diagnostic Data Transfer (진단 데이터 전송)

 

SECS-I 프로토콜 자체는 주로 Stream 1부터 Stream 10까지의 주요 기능에 중점을 두며, 그 이후의 Stream들은 특정한 장비나 시스템에서 필요에 따라 추가하여 사용함.

대부분의 경우 특정 용도에 맞게 설정하여 사용자 정의(Custom)로 사용함.

일반적으로 사용되는 SECS-I Custom Stream의 예시

 

*Stream 11 (S11): Maintenance (유지보수)

S11, F1: Maintenance Request (유지보수 요청)
S11, F2: Maintenance Data (유지보수 데이터)

 

*Stream 12 (S12): Diagnostic (진단)
S12, F1: Diagnostic Request (진단 요청)
S12, F2: Diagnostic Data (진단 데이터)

 

*Stream 13 (S13): Calibration (캘리브레이션)
S13, F1: Calibration Request (캘리브레이션 요청)
S13, F2: Calibration Data (캘리브레이션 데이터)

 

*Stream 14 (S14): Process Control (공정 제어)
S14, F1: Process Start Request (공정 시작 요청)
S14, F2: Process End Report (공정 종료 보고)

 

*Stream 15 (S15): Material Handling (자재 처리)
S15, F1: Material Load Request (자재 로드 요청)
S15, F2: Material Unload Request (자재 언로드 요청)

 

*Stream 16 (S16): Recipe Management (레시피 관리)
S16, F1: Recipe Download Request (레시피 다운로드 요청)
S16, F2: Recipe Upload Request (레시피 업로드 요청)

 

*Stream 17 (S17): Security (보안)
S17, F1: Security Authentication Request (보안 인증 요청)
S17, F2: Security Authentication Response (보안 인증 응답)

 

*Stream 18 (S18): Error Reporting (오류 보고)
S18, F1: Error Report (오류 보고)
S18, F2: Error Acknowledge (오류 인식)

 

*Stream 19 (S19): Power Management (전원 관리)
S19, F1: Power Status Request (전원 상태 요청)
S19, F2: Power Status Report (전원 상태 보고)

 

*Stream 20 (S20): Environmental Monitoring (환경 모니터링)
S20, F1: Environmental Data Request (환경 데이터 요청)
S20, F2: Environmental Data Report (환경 데이터 보고)

 

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이렇게 정리는 해놨지만, 최근에는 사용안함. TCP/IP가 있어서 SECS-II와 HSMS를 사용함.

굳이 느린 RS-232 Serial 통신을 쓸 필요가 없잖아?

 

[SescGem] 반도체 통신 프로토콜 SEMI E5 (SECS-II)