[SescGem] 반도체 통신 프로토콜 SEMI E5 (SECS-II)

[SescGem] 반도체 통신 프로토콜 SEMI E5 (SECS-I)

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SECS-II (Semiconductor Equipment Communications Standard Part 2)

 

반도체 제조 장비와 호스트 시스템 간의 데이터 교환을 위한 표준

 

SECS-II 프로토콜에서는 Stream과 Function의 조합을 통해 다양한 명령과 데이터 요청/응답을 처리함

 

Stream은 메시지의 대분류를 나타내며, Function은 해당 Stream 내에서 수행할 특정 작업을 나타냄

주요 SECS-II Stream 및 Function

*Stream 1 (S1): Host Control
S1, F1: Are You There Request
호스트가 장비에 연결 상태를 확인하는 요청.
S1, F2: On-Line Data
장비의 온라인 상태를 확인하고, 연결이 성립된 것을 알림.
S1, F13: Establish Communications Request
호스트가 장비와의 통신을 시작할 때 보내는 요청.
S1, F14: Communications Established
장비가 호스트와의 통신이 시작된 것을 확인하고 응답.

 

*Stream 2 (S2): Equipment Status Reporting
S2, F13: Equipment Status Request
호스트가 장비 상태를 요청하는 메시지.
S2, F14: Equipment Status Data
장비가 현재 상태 데이터를 호스트로 보내는 메시지.

 

*Stream 3 (S3): Alarm Reporting
S3, F17: Enable Alarm
특정 알람을 활성화하도록 장비에 요청.
S3, F18: Disable Alarm
특정 알람을 비활성화하도록 장비에 요청.
S3, F19: Alarm Report
장비에서 발생한 알람 정보를 호스트에 보고.

 

*Stream 4 (S4): Process Program
S4, F1: Process Program Send Request
호스트가 장비로 프로세스 프로그램을 전송 요청.
S4, F2: Process Program Send Data
장비로 프로세스 프로그램 데이터를 전송.
S4, F6: Process Program Acknowledge
장비가 프로세스 프로그램을 수신했음을 확인하고 응답.

 

*Stream 5 (S5): Event Reporting
S5, F1: Enable Event Reporting
특정 이벤트 보고를 활성화하도록 장비에 요청.
S5, F2: Disable Event Reporting
특정 이벤트 보고를 비활성화하도록 요청.
S5, F3: Report Event
장비에서 발생한 이벤트를 호스트에 보고.

 

*Stream 6 (S6): Data Collection
S6, F3: Enable Collection Event
데이터 수집 이벤트를 활성화하도록 요청.
S6, F4: Disable Collection Event
데이터 수집 이벤트를 비활성화하도록 요청.
S6, F11: Data Value Request
특정 데이터 값을 요청.
S6, F12: Data Value Transfer
요청된 데이터를 호스트로 전송.

 

*Stream 7 (S7): Remote Command Execution
S7, F1: Define Remote Command
원격 명령을 정의하도록 요청.
S7, F3: Delete Remote Command
정의된 원격 명령을 삭제하도록 요청.
S7, F5: Invoke Remote Command
원격 명령을 실행하도록 요청.

 

*Stream 9 (S9): Material Movement
S9, F1: Carrier Start Request
웨이퍼 캐리어의 이동을 시작하도록 요청.
S9, F3: Carrier Complete
캐리어 이동이 완료되었음을 보고.

 

*Stream 10 (S10): Diagnostic Data
S10, F1: Diagnostic Data Request
진단 데이터를 요청.
S10, F2: Diagnostic Data Transfer
요청된 진단 데이터를 전송.
확장 및 사용자 정의 Stream

 

SECS-II는 사용자가 필요에 따라 추가 Stream과 Function을 정의할 수 있음.

 

반도체 제조사의 특수한 프로세스, 장비 유형, 데이터 요구에 따라 달라짐.

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[SescGem] 반도체 통신 프로토콜 SEMI E5 (HSMS)