[SescGem] 반도체 통신 프로토콜 SEMI E5 (HSMS)

 

[SescGem] 반도체 통신 프로토콜 SEMI E5 (SECS-II)

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[SescGem] 반도체 통신 프로토콜 SEMI E5 (SECS-II)

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HSMS (High-Speed SECS Message Services)

 

HSMS의 주요 Stream과 Function
HSMS 프로토콜은 SECS-II와 유사한 Stream과 Function을 사용하지만, 일부는 HSMS의 고유 기능에 맞게 확장됨.

기본적으로 HSMS는 SECS-II의 Stream/Function 체계를 그대로 유지하면서 네트워크 통신에 적합하도록 설계됨.

 

*Stream 0 (S0): HSMS Control
S0, F1: Select.req
장비나 호스트가 TCP/IP 연결을 설정하려는 요청.
S0, F2: Select.rsp
연결 요청에 대한 응답으로, 연결이 수락되었는지 또는 거부되었는지 알림.
S0, F3: Deselect.req
현재의 TCP/IP 연결을 해제하려는 요청.
S0, F4: Deselect.rsp
연결 해제 요청에 대한 응답.
S0, F5: Linktest.req
네트워크 연결 상태를 확인하기 위한 요청.
S0, F6: Linktest.rsp
연결 상태 테스트에 대한 응답.
S0, F7: Reject.req
메시지가 잘못되었거나 처리할 수 없을 때 거부 응답을 보내는 요청.
S0, F8: Separate.req
장비나 호스트가 명시적으로 TCP/IP 연결을 종료하려는 요청.

 

Stream 1 (S1) ~ Stream 10 (S10): Standard SECS-II Streams

HSMS는 SECS-II와 동일한 Stream 1부터 Stream 10까지를 사용함.

각각의 Stream은 SECS-II와 동일한 기능을 수행함.


S1, F1: Are You There Request
호스트가 장비의 상태를 확인하기 위한 요청.
S2, F13: Equipment Status Request
호스트가 장비 상태를 요청하는 메시지.
S5, F3: Report Event
장비에서 발생한 이벤트를 호스트에 보고.
이러한 표준 SECS-II 명령은 HSMS를 통해 TCP/IP 기반의 네트워크로 고속 전송됨

Stream 11 (S11)부터 끝까지: 사용자 정의 Stream
HSMS는 SECS-II와 동일하게 사용자 정의 Stream과 Function을 허용

 

HSMS의 주요 기능 요약
고속 통신: TCP/IP를 통해 더 빠른 데이터 전송 속도와 신뢰성을 제공합니다.
네트워크 관리 기능: 링크 테스트, 연결 설정 및 해제, 오류 처리 등의 네트워크 관리 기능을 포함합니다.
SECS-II 호환성: 기존 SECS-II 프로토콜과 호환되며, 동일한 Stream/Function 조합을 사용합니다.
유연성: 사용자 정의 Stream과 Function을 통해 다양한 공정 요구 사항에 맞게 설정 가능.

 

HSMS는 SECS-II의 고유 기능을 그대로 유지하면서, TCP/IP 네트워크 환경에서 더욱 효율적이고 빠른 통신을 지원함.

이로 인해 반도체 제조 공정에서 고속 데이터 처리와 통신 안정성이 향상되며, 장비와 호스트 간의 통합이 용이해짐.