[SecsGem] Wafer Map 관련 표준

웨이퍼 맵핑 정보의 표현, 전송, 관리 등을 규정하여

 

반도체 제조 공정에서의 데이터 일관성과 효율성을 높이는 역할

 

반도체 제조 공정에는 다양한 공정이 있음. 흔히 7대 공정이라고 하는 그 공정들.

 

공정 별로 장비들이 다 다름. 

 

그러면 각각의 공정의 장비에 input 되었다가 나오는 output이 다음 공정의 input이 되는거임.

 

요 정보를 효율적으로 관리하려면 각각의 unit단위로 map을 만들어서 관리를 해야하는 거임.

 

그래서 그 map 관련된 표준들이 아래에 몇 가지가 있음.

 

1. SEMI E120 (Carrier ID Reader/Writer Communication Standard)

• E120는 웨이퍼 캐리어(FOUP, FOSB 등)에 대한 ID 정보를 관리하고 전송하는 방법을 규정함.
• 캐리어 ID를 읽고 쓰는 과정에서 사용, 웨이퍼 맵 정보가 캐리어에 연결될 때 E142와 연계되어 사용될 수 있음.

2. SEMI E142.1 (SECS-II Protocol for Substrate Mapping)

• E142.1는 E142의 하위 표준으로, E142에서 정의된 웨이퍼 맵핑 데이터를 SECS-II 메시지 형식으로 어떻게 전송할지를 규정함.
• 이를 통해 웨이퍼 맵 정보를 호스트와 장비 간에 SECS-II 프로토콜을 통해 일관되게 전송함

3. SEMI E90 (Specification for Substrate Tracking)

• E90는 웨이퍼나 기타 기판의 이동과 처리 이력을 추적하기 위한 표준
• 기판의 위치, 상태 및 처리 단계를 추적하여 웨이퍼 맵 정보와 함께 통합 관리

4. SEMI E139 (Specification for XML Messaging for Process Control Systems)

• E139는 XML을 사용한 프로세스 제어 시스템의 메시징 표준으로, 웨이퍼 맵 데이터를 XML 형식으로 전송하는 것을 지원합니다. 이는 E142와 결합하여 보다 현대적인 데이터 교환 방식으로 웨이퍼 맵 정보를 다룰 수 있게 합니다.

5. G84: GEM (Generic Equipment Model)

• G84는 GEM (Generic Equipment Model)이라는 SECS-II 프로토콜을 기반으로 한 표준
• G84는 Substrate Mapping을 포함한 다양한 장비 통신 기능을 정의
• 장비와 호스트 간의 통신을 표준화하여, 웨이퍼 맵과 같은 정보를 포함한 다양한 데이터를 효과적으로 교환할 수 있도록 함.