반응형 SecsGem5 [SecsGem] Wafer Map 관련 표준 웨이퍼 맵핑 정보의 표현, 전송, 관리 등을 규정하여 반도체 제조 공정에서의 데이터 일관성과 효율성을 높이는 역할 반도체 제조 공정에는 다양한 공정이 있음. 흔히 7대 공정이라고 하는 그 공정들. 공정 별로 장비들이 다 다름. 그러면 각각의 공정의 장비에 input 되었다가 나오는 output이 다음 공정의 input이 되는거임. 요 정보를 효율적으로 관리하려면 각각의 unit단위로 map을 만들어서 관리를 해야하는 거임. 그래서 그 map 관련된 표준들이 아래에 몇 가지가 있음. 1. SEMI E120 (Carrier ID Reader/Writer Communication Standard)E120는 웨이퍼 캐리어(FOUP, FOSB 등)에 대한 ID 정보를 관리하고 전송하는 방법을 규정함.캐리어 ID.. 2024. 8. 25. [SescGem] 반도체 통신 프로토콜 SEMI E5 (HSMS) [SescGem] 반도체 통신 프로토콜 SEMI E5 (SECS-II)[SescGem] 반도체 통신 프로토콜 SEMI E5 (SECS-I)SECS-I (Semiconductor Equipment Communication Standard Part 1)반도체 제조 장비와 공장 호스트 시스템 간의 통신을 규정하며, 주로 저속 시리얼 통신을 통해 장비와program-developers-story.tistory.com [SescGem] 반도체 통신 프로토콜 SEMI E5 (SECS-II)[SescGem] 반도체 통신 프로토콜 SEMI E5 (SECS-I)SECS-I (Semiconductor Equipment Communication Standard Part 1)반도체 제조 장비와 공장 호스트 시스템 간의 통신을.. 2024. 8. 25. [SescGem] 반도체 통신 프로토콜 SEMI E5 (SECS-II) [SescGem] 반도체 통신 프로토콜 SEMI E5 (SECS-I)SECS-I (Semiconductor Equipment Communication Standard Part 1)반도체 제조 장비와 공장 호스트 시스템 간의 통신을 규정하며, 주로 저속 시리얼 통신을 통해 장비와 호스트 간의 데이터 교환을 지원함Stream Functprogram-developers-story.tistory.comSECS-II (Semiconductor Equipment Communications Standard Part 2) 반도체 제조 장비와 호스트 시스템 간의 데이터 교환을 위한 표준 SECS-II 프로토콜에서는 Stream과 Function의 조합을 통해 다양한 명령과 데이터 요청/응답을 처리함 Stream은 메시지.. 2024. 8. 25. [SescGem] 반도체 통신 프로토콜 SEMI E5 (SECS-I) SECS-I (Semiconductor Equipment Communication Standard Part 1)반도체 제조 장비와 공장 호스트 시스템 간의 통신을 규정하며, 주로 저속 시리얼 통신을 통해 장비와 호스트 간의 데이터 교환을 지원함Stream Function은 SEMI E5(SECS-I)에서 중요한 개념인데, SECS-I 프로토콜은 데이터를 Stream과 Function으로 구성된 메시지로 전송함. 이때, "Stream"은 데이터 메시지의 대분류를, "Function"은 그 대분류 내에서의 특정 작업을 가리키고 이 Stream Function를 통해 각 메시지가 수행할 작업을 식별함.*Stream과 Function의 개념 -Stream: 메시지를 대분류하는 단위입니다. 숫자로 식별되며,.. 2024. 8. 25. [SescGem] 반도체 통신 프로토콜 SEMI E5 (SECS-I, SECS-II, HSMS) "SEMI"는 반도체 산업에 관련된 표준, 지침, 시장 조사, 산업 뉴스 등을 제공하는 국제 반도체 장비 및 재료 협회(Semiconductor Equipment and Materials International)의 약자임 SEMI에서 제정한 여러 가지 표준과 가이드라인이 있으며, 이들은 반도체 제조 공정에서 중요한 역할을 함. SEMI 표준은 중 대표적인 것들로는 다음과 같은 표준들이 있다SEMI S2: 반도체 제조 장비의 환경, 건강, 안전성에 대한 가이드라인을 제공 SEMI F47: 반도체 공장에서 사용하는 전력의 품질 기준에 대한 규정이고 특히 전압 강하에 대한 장비의 내성 기준을 설정 SEMI E10: 반도체 장비의 가동 효율성을 평가하는 지침 SEMI E5: 장비 간 통신 프로토콜인 SECS-.. 2024. 8. 25. 이전 1 다음 반응형